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準(zhǔn)分子激光剝蝕的激光束能量分布均勻化,剝蝕均勻

更新時間:2022-12-08  |  點擊率:543
  準(zhǔn)分子激光剝蝕系統(tǒng)采用精細(xì)化控制單元,高能量的“平頂(homogenized-flat)”激光和飛速響應(yīng)的“邊對邊(shot-to-shot)”技術(shù)帶來高分辨率空間分析能力。創(chuàng)新的“動態(tài)剝蝕功能(fire-on-the-fly)”采用高分辨率XY移動平臺技術(shù),同時移動平臺能夠?qū)崟r觸發(fā)激光的發(fā)射,*應(yīng)用于線掃描的深度剝蝕和元素分布圖的分析。另外,高分辨率GigE真彩顯微攝像觀察技術(shù),觀察單元光學(xué)分辨率小于2μm,提供透射、反射和環(huán)形可調(diào)亮度的照明和十字交叉偏振系統(tǒng),能夠?qū)崟r顯示實時縮放的動態(tài)寬視野場,實現(xiàn)快速樣品定位導(dǎo)航。結(jié)合足夠高的剝蝕能量(50J/cm2),AnalyteHE能夠輕松剝蝕各類樣品甚至是具有挑戰(zhàn)性的物質(zhì),包括高純石英、彈性碳酸鹽等樣品,同時光束能量均勻化分布,以確保在整個光斑尺寸范圍內(nèi)和各種材料上均勻剝蝕。
  

 

  準(zhǔn)分子激光剝蝕系統(tǒng)主要性能參數(shù):
  
  1.超短193nm激光波長
  
  2.脈沖寬度<20ns
  
  3.足夠剝蝕石英及螢石的能量密度,高達(dá)50J/cm2
  
  4.密閉氣室
  
  5.激光束能量分布均勻化,剝蝕均勻
  
  6.標(biāo)配100x100mm移動平臺,可選150x150mm平臺
  
  7.同步“動態(tài)剝蝕功能”實現(xiàn)精確的剝蝕深度控制
  
  8.獨立的視頻和激光光學(xué)控制單元,能夠更好的查看樣品剝蝕點
  
  9.剝蝕光斑范圍1-170μm
  
  10.標(biāo)配30個剝蝕光斑,光斑可定制
  
  11.標(biāo)配HelExII雙體積雙氣路渦流樣品池
  
  準(zhǔn)分子激光剝蝕Geostar軟件,可實現(xiàn)與ICP連接測試,準(zhǔn)分子激光最小束斑可達(dá)及微米,剝蝕坑底部平坦,形狀規(guī)則,可利用激光共聚焦或原子力顯微鏡測量剝蝕坑體積。